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區熔硅單晶爐
 

      2009年,公司承擔國家科技重大02專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”之“8英寸區熔硅單晶爐國產設備研制”課題。

 

      截至目前,通過該課題的實施,已在公司生產的區熔硅單晶爐上成功拉制出國內首根 8 英寸區熔硅單晶棒,驗證了公司自主研制的區熔硅單晶爐技術取得了突破性進展,相關設備獲得了 26 項國家專利,其中爐內晶體剪除機構、多 CCD成像和輔助加熱等技術為國際首創,課題產品已成功產業化并形成銷售,取得了良好的社會、經濟效益,產業化前景優勢明顯。

 

      該課題的實施,有效地打破了國外大直徑區熔硅單晶爐的技術壟斷,縮小了我國區熔單晶硅材料制造技術與國際先進水平的差距,體現了公司的研發實力,有利于公司立足晶體生長與智能化加工裝備的主業,推動“先進材料、先進裝備”發展戰略全面實施。

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