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全自動單晶硅生長爐
 

       2011年,公司承擔國家科技重大02專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”之“300mm硅單晶直拉生長裝備的開發”課題,現已進入規?;勱錐?。 

 

      在公司首臺80A型全自動單晶爐實現多項國內首創技術的基礎上,公司后續又研制成功了國內首臺300kg投料量、可生長12英寸半導體級單晶硅棒、整機性能要求更高的130A大型單晶爐和100B重摻型半導體級單晶爐。其生長的硅單晶棒的等徑精度、均勻性、電阻率、體缺陷、無位錯等主要性能,可滿足大規模集成電路90~65nm線寬的高要求,遠遠領先于國內同行,達到國際同類產品的先進水平。

 

      2007年4月,自主研制成功國內首臺全自動單晶硅生長爐。打破了高端單晶爐技術長期被國外壟斷的產業格局,填補了國內空白。


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